
新业环保CLJ-E型激光尘埃粒子计数器助力湖北亚芯微电子洁净车间建设
近日,新业环保正式向湖北亚芯微电子有限公司交付CLJ-E型激光尘埃粒子计数器,为该公司高规格洁净车间的环境监测提供专业支持。这款高精度设备将显著提升亚芯微电子在芯片生产过程中的洁净度管控能力,助力其产品质量的持续优化。
CLJ-E型激光尘埃粒子计数器采用半导体激光光源与微处理器控制技术,兼具高效性与便携性:
智能检测:支持六通道粒径同步测量(0.3μm~10μm),符合ISO14644-1、GMP等国际国内标准,可精准判定百级至三十万级洁净环境
灵活适配:内置打印机实时输出数据,可选配RS-485通讯模块实现远程监控,满足微电子行业对生产环境的严苛要求
权威认证:通过JJF1190-2008计量校准,检测数据可追溯至国家计量标准
此次交付的设备将应用于湖北亚芯微电子的晶圆制造车间,重点监控光刻区、封装区等关键区域:
动态监测:实时反馈空气中微粒浓度变化,预防粉尘污染导致的良率波动
系统验证:配合HVAC系统进行高效过滤器检漏,确保换气次数与压差达标
合规存档:自动生成UCL报表,符合电子行业洁净厂房设计规范(GB50073-2001)
新业环保技术团队已完成设备安装调试,并为客户提供周期性校准服务承诺。此次合作标志着双方在半导体产业洁净技术领域的深度协同,共同推动国产精密制造环境的升级迭代。
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